구 매  규 격 서

품명	수량	단위	비고
국문명 : 테이블탑 주사 전자 현미경 영문명 : Table Top Scanning Electron Microscope	1	SYS

Ⅰ.  용도(End-user's Use) 및 특징

전자를 영상신호로 변환하여 μm이하의 작은 크기를 측정할 수 있어야 한다. 최대 250,000 배의 고 배율을 관찰할 수 있으며 X,Y,Z축의 자동기능으로 시료의 이동은 마우스 조작을 통해 원하는 위치로 쉽게 이동할 수 있어야 한다.

1. 특징

- 장비 동작을 위한 진공은 터보펌프를 이용하여 최대 10-6 torr의 진공도를 만들 수 있어야 한다.

- 키보드와 마우스를 이용하여 시료의 위치변경, 이미지의 포커싱과 같은 주요 작업이 가능해야한다.

- 추가적인 공급장치(UPS 및 Air 등 )가 필요 없고 일반전원 220V, 2KW 이내여야한이다.

- 비금속 시료 관찰 목적을 위한 금속박막 코팅 장비를 포함하여야 한다.

- EDS 디텍터는 장비 내부에 추가로 설치 가능하며, 설치 시 성분 분석을 동시에 진행 가능할 수 있어야 한다.

Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)

1. 주사전자현미경 본체(SEM)	1SYS

2.  Accessories	1set

- 데이터프로세싱 시스템                                 1set

- 데스크탑 PC & 모니터

- Data System(소프트웨어)

- 이온스퍼터코터	1set

- Working Table                                       1ea

- 텅스텐필라멘트                                       5pcs

- 텅스텐카트리지                                       3set

- 홀더세트                                             1set

- 카본테이프                                           1ea

- 케리어박스                                           1ea

- 매뉴얼                                               1copy

Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specificpation)

1. 배율 : x13 to x250,000배 이상

2. 가속전압 : 1 ~ 30 kV 이상

3. 전자총 : 텅스텐필라멘트 전자총

4. 어퍼쳐 : Variable Aperture(30, 30, 50, 100 μm)

5. 디텍터

1) 2차전자 디텍터(Secondary Electron Detector)  / High Performance SE detector

2) 후방산란전자 디텍터(Back scattered Electron Detector) / 4 channel Semicon Type

6. 스테이지 시스템

X - 축 이동거리 : 40 mm[오토]

Y - 축 이동거리 : 40 mm[오토]

Z　- 축 이동거리 : 5 to 40 mm[오토]

T - 축 이동거리 : 0, 45o 90o [메뉴얼]

Beam Rotation : 360도

7. 영상제공 : 6개 모드의 영상 제공이 가능하여야 한다.

(SE / BSE Compo. / BSE Topo / SE+Compo / SE+Topo / SE/BSE 분할 영상)

8. 최대 진공율 : 10-6 torr 진공(Pump Hipace30이상)

9. 주사 속도

Fast frame rate up to 13fps

Reduced Mode : up to 256x192

Ultra-Fast Mode : 640x480

TV Mode : 800x600

Photo Mode 1 : 1280x960

Photo Mode 2 : 2560x1920

Photo Mode 2 : 5120x3840

10. 설치 환경

온도 : 22 ℃ ± 5 ℃ / 습도 : 70% 이하

전원 : 220 VAC, 3 KW 미만, 50~60 Hz

11. Dimension

Main Unit : 315(W) x 560(L) x 580(H)mm ±10% 수준

Control Unit : 데스크탑 PC

중 량 : 100 kg 이하

12. 데이터 프로세싱 시스템

1) 데스크탑 PC & 모니터

① PC : Core I5 이상. HDD: 1 TB 이상 PC, RAM 8 GB이상

② 모니터 : 23“ 이상

③ Data System(소프트웨어)

- SEM 측정 전문 Data System으로서 더욱 쉽고, 더욱 편리하게 원하는 이미지를 촬영 할 수 있어야 한다.

- Mini Map : 전체 시료 중 현재 주사 (Scanning) 위치를 확인할 수 있어야 한다.

- Auto Focusing 기능이 있어야 한다.

- 홀더 내 현재 측정 시료의 실시간 위치 확인 및 신속한 이동이 가능하여야 한다.

- 다양한 타입의 이미지 파일 open 기능이 있어야 한다.

- 이미지에 대한 저장 기능이 있어야 한다.

- 이미지의 다양한 촬영 정보 설정이 가능하여야 한다.

- 길이 및 Text등 Measuring 기능이 있어야 한다.

- 이미지 정보(촬영조건, 렌즈 값, 영상정보) 파일 저장 기능이 있어야 한다.

2. 이온스퍼터코터

1) 비전도성 시료의 전처리

2) 응용별 여러가지 금속코팅을 통한 전도율 향상

3) 사용 가능한 타겟 : Au, Pt 및 그 이상의 금속

4) 출력 전류 범위 : 0 ~ 9 mA 혹은 그 이상

5) 코팅 시간 : 10 ~ 990 sec 혹은 그 이상

6) 제원

① 챔버 사이즈 : ∅100mm 이상

② 타겟 사이즈 : ∅50mm 이상

③ 스테이지 : 60mm 이상

④ 장비 크기 : 420(W) X 220(D) X 230(H) mm ±10% 수준

7) 전원 : AC110/220V, 50/60 Hz, 50W

Ⅳ. 기타 조건(Remarks)

1. 설치 및 감독

- 장비는 설치 전 디텍터가 모두 장착되어 있는지 검수 되어야함

- 설치 및 감독은 자격 있는 검증된 Engineer에 의해 수행되어야 함

2. 장비 보증

- 설치된 장비에 대한 하자보증 service는 제조자에 의해 설치 검수 후 12개월 동안 이루어져야 함

3. 사용자 교육

1) 전문서비스 역량을 바탕으로 시스템 서비스와 더불어 온라인 원격지원서비스, 특화된 응용 지원의 수준 높은 교육을 제공해야 한다.

2) Team Viewer로 PC 원격지원 서비스가 가능하여야 한다.

3) Smart Camera로 Live Demo가 가능하여야 한다.

4) 응용지원의 수준 높은 강의와 작동 교육을 위한 무상 교육 서비스가 가능해야 한다.

Ⅴ. 참고장비

가. 제조사: (주)코셈

나. 모델명: EM-40, SPT-20

※ 참고장비는 세부규격의 참조를 위해 기재한 것으로 동일 모델이 아니더라도 동등 이상 규격의 물품이라면 응찰 가능함

※ 규격심사를 통과한 업체만 가격입찰에 참여할 수 있으므로 참고장비와 다른 동등 이상 장비로 응찰하려는 경우 사전에 사업주관부서(수요자)를 통해 규격 적합 여부를 확인하시기 바랍니다.

※ 입찰공고문, 구매규격서 등 기타 모든 사항을 입찰전에 반드시 숙지하고 입찰에 참가하여야 하며, 미숙지로 인해 발생하는 불이익에 대한 모든 책임은 입찰자에게 있음